浅析离子减薄仪是如何工作的

点击次数：2630 更新时间：2017-10-13

离子减薄仪原理

离子减薄仪该设备由小角度样品旋转系统、高真空系统、高压电源系统、快速气动换样系统以及高能聚焦离子枪等主要部分组成。设备外观美观、操作方便，可靠性好，是从事材料科学研究所*的关键设备。

1.小角度样品旋转系统

作为离子减薄仪的核心部分，因其结构设计合理、精巧实用，获得了国家。其特点：

(1) 样品台旋转稳定，对离子束无遮挡

该装置采用了齿轮传动方式，用传动齿轮带动主齿轮转动，从而使安置在主齿轮上的样品平稳转动。该装置避免了国内外同类产品中三柱式样品台旋转系统及轴承传动旋转系统的缺点，使样品台不会在旋转减薄过程中遮挡离子束(Ion beam)，以及样品旋转不稳定而导致样品薄区表面不均匀等问题。同时，该装置还解决了因离子束撞击样品台而污染真空室的问题。

(2) 离子束掠射角小，样品薄区大

该系统采取了超薄型样品台设计，使样品与离子束之间的掠射角同时减小到zui小角度(仅为1.5°)，因而被减薄样品的薄区范围比同类产品所减薄样品的薄区明显增大，这也是该系统的主要特点之一。

(3) 系统结构紧凑，样品减薄速度高

在离子枪的结构上克服了目前同类产品的结构缺陷,调近了离子枪与样品的距离，达到了节约能源、提高减薄速度的效果。

(4) 样品台导热性能好

在样品减薄过程中,由于高能离子束的冲击作用，样品的温度会有所升高，针对这一问题，样品台采用特制导热性能良好的材料，从而降低了样品的温升，这样保证了样品在减薄过程中不会发生相变。

2.高真空系统

由于系统结构紧凑、小巧，使真空室体积大大缩小，提高了系统抽真空的速度及真空度，为减薄样品创造了有利条件。

3.高压电源系统

系统采用国外进口元器件，性能优良，安全可靠，使用寿命长。电源高压稳定，电压可随意调节，并实现了高压故障自动保护。

4.快速气动换样系统

为了减少因更换样品而影响样品减薄时间及系统抽真空时间，特别设计了快速气动换样系统，实现了在不影响系统真空的条件下，快速更换样品的目的。

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