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首页>产品中心>德国徕卡>三离子束切割仪>Leica EM TIC 3X三离子束切割仪
三离子束切割仪

简要描述:

几乎任何材质样品都可获得高质量截面,在没有任何变形或损伤的情况下揭开样品内部Z真实结构信息,在使用徕卡EM TIC3X之前,这类工作从未变得如此之简单。徕卡EM TIC 3X三离子束切割仪适宜处理软/硬复合、带有孔缝结构、热敏感性、脆性及非均质样品,获得样品截面,从而进行扫描电子显微镜(SEM),微区分析(EDS,WDS,Auger,EBSD)及原子力显微镜或扫描探针显微镜(AFM,SPM)分析

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Leica EM TIC 3X 通过离子枪激发获得的离子束,以垂直于样品侧面纵向轰击样品,可获得高质量无应力“切割”截面,便于SEM观察。
该处理方法适用于多层膜材料、软硬复合材料等高难度制备样品,并且操作简单,可有效避免涂抹效应,不需要大量摸索条件即可获得理想的截面,使样品暴露内部细微结构信息。

这一技术几乎是*一个适用于任何材质样品,获得高质量切割截面的解决方法。使用该技术对
样品进行处理,样品受到形变或损伤的可能性zui低,可暴露出样品内部真实的结构信息。

徕卡eM Tic 3X在技术上超越了传统的离子束抛光切割设备。它使用三离子束,并可装配冷冻样品
台和三样品台,可以高速率离子束轰击样品,得到宽且深的切割区域,获得一个高质量的平整的
切割截面,几乎适用于任何材料,整个样品处理过程快速简便。

 

主要技术参数:

•  可容纳zui大样品尺寸50×50×10mm,可获得有效切割截面面积>4mm×1mm

•  三把离子枪,离子束能量1keV-10keV,切割速率150µm/h (Si@10kV, 50µm切割高度)

•  离子束处理过程中样品位置固定,无需偏转运动,无投影效应,热传导性好

•  可进行离子束切割或刻蚀,可选择任意离子枪

•  真空泵解耦合设计,无震动传导

•  触摸屏操作面板,直观、简易操作,可编程可软件升级

•  可选配:液氮制冷冷台-150°至 30°,25L液氮罐及自动泵,具有自动快速制冷功能

•  可选配:三样品台,可一次连续处理三个样品

 

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